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        1. 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

          PRODUCT DISPLAY

          當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積>>高真空CVD系統(tǒng)>> GSL-1700X-HVC1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

          1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

          參  考  價(jià):面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào):GSL-1700X-HVC

          品       牌:合肥科晶

          廠商性質(zhì):代理商

          所  在  地:上海市

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          更新時(shí)間:2024-08-19 17:06:21瀏覽次數(shù):2439次

          聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
          儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子,電氣,綜合
          GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)

          殼體       

           · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命     

           · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失 

          · 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng).儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組

          爐管

           · 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 

          · 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

           · (標(biāo)配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L 

          (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

          功率

           6KW工作電壓  AC 208-240V單相, 50/60Hz 

          加熱元件 

          8 根1800°C grade MoSi2 heating element 

          工作溫度

           · 最高工作溫度.: 1650°C(<2h) 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

          升溫速率

           ≤5°C/min 

          加熱區(qū)長(zhǎng)度 

          加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18") 

          溫控系統(tǒng)

           · 采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序

           · 控溫精度: ±1°C                   

           · 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi) 

          真空法蘭 

          · 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

           · 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表

           · 兩個(gè)精密針閥 

          · 一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個(gè)1/4"卡套接頭

           外形尺寸

           550 x 380 x 520mm

          功率        

          100~110W 

          工作電壓 

          AC 208-240V單相, 50/60Hz 

          外形尺寸

           600(L) x 600(W) x 700(H), mm

          高真空機(jī)組殼體

           · 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 

          · 最大承載量:       600 Lbs on top 

          · 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany: 

          控制面板

           · 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,啟動(dòng))  

          · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率   

          抽氣速率

           · N2     33 L/s·  He     39 L/s   (2340L/minute)H2   32 L/s

          工作范圍 

           1000 mbar to <1E-7 mbar 

          極限 

          <1E-8 mbar (without any leaking )

          質(zhì)量流量控制器殼體

           · 采用 316不銹鋼制作                                                    

           · 混氣箱尺寸: Φ80X120mm   

          · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

          功率 

          18W 

          工作電壓

           AC 208-240V, 單相, 50/60Hz


          質(zhì)保期 

          一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

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